Attolight特邀演講報告
Attolight AG致力于先進的材料科學(xué)和半導(dǎo)體研究，以其創(chuàng)新的定量陰極發(fā)光（qCL）解決方案而聞名。此次受特邀參加2025年3月22-25日在廈門舉辦的2025國際顯示技術(shù)大會（ICDT 2025），銷售經(jīng)理Nicolas與會做了演講，演講報告主題為：用于半導(dǎo)體和光電材料高級表征的多功能分析平臺。
演講報告地址：Nicolas Médard - ICDT https://sidicdt.org/nd.jsp?id=1676
大會概況
2025國際顯示技術(shù)大會（ICDT 2025）已于2025年3月22-25日在廈門成功舉辦。ICDT立足于中國，面向全球，宗旨是加強顯示技術(shù)國際交流與合作，提升中國顯示技術(shù)及顯示產(chǎn)業(yè)鏈整體水平，實現(xiàn)中國顯示技術(shù)從跟進、同步到引領(lǐng)的變革。
本次ICDT大會的討論交流主題涵蓋新型顯示技術(shù)領(lǐng)域及智能制造技術(shù)的最新進展，旨在積極推進全球范圍內(nèi)尤其是中國顯示技術(shù)領(lǐng)域的研究與發(fā)展。除了18個技術(shù)主題外，還聚焦先進薄膜晶體管顯示技術(shù)、AI賦能與成像顯示、VR/AR/MR和元宇宙、Mini/Micro-LED和高度集成半導(dǎo)體信息顯示、光場顯示、柔性電子及其顯示技術(shù)、量子點及其相關(guān)顯示技術(shù)、車載顯示、綠色智能制造技術(shù)9個專題。
此次大會為期4天，以 " 預(yù)見顯示技術(shù)發(fā)展趨勢（I see display trend）" 為主題，包括700多個報告以及20多場各具特色的精彩活動，探討全球顯示產(chǎn)業(yè)和技術(shù)發(fā)展趨勢，推進全球尤其是中國顯示產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
Attolight陰極發(fā)光CL-SEM系統(tǒng)在顯示技術(shù)領(lǐng)域中的應(yīng)用
在顯示行業(yè)中，隨著Mini/MicroLED、OLED、量子點等新型顯示技術(shù)的快速發(fā)展，陰極發(fā)光掃描電鏡（CL-SEM）憑借其獨特的材料特性分析能力，成為研發(fā)、生產(chǎn)和質(zhì)量控制中不可或缺的工具，Attolight CL-SEM更是其中的佼佼者：
1、GaInN/GaN多量子殼納米線微發(fā)光二極管（MicroLED）是下一代顯示設(shè)備的有力競爭者。利用CL超光譜成像技術(shù)可以對它們的發(fā)光特性進行詳細表征。下圖a和b展示了從頂部視角獲取的結(jié)構(gòu)的二次電子（SE）和全色CL強度圖像。圖c展示了整個圖像的平均發(fā)射光譜。通過在不同波長范圍（通常在發(fā)射峰附近）上積分發(fā)射強度，可以得到不同的圖像（圖d），稱為彩色帶圖像，這些圖像可以代表堆疊中的特定材料或一種材料的特定特性。
2、qCL使得在每個器件內(nèi)部、器件之間以及晶圓全表面各區(qū)域之間進行比較成為可能。這種定量比較對于識別工藝變化和潛在故障具有極大的價值。它能夠平滑地銜接納米尺度和毫米尺度的器件特性，并能夠高效地表征沉積工藝的均勻性、光刻工藝的質(zhì)量以及器件的基本發(fā)射特性，下圖為使用全晶圓qCL工具（Santis 300）獲取的MicroLED陣列全晶圓圖譜。qCL的使用確保了每個器件、不同器件之間、晶圓區(qū)域之間以及不同晶圓和晶圓批次之間的光強度測量結(jié)果具有可比性，這對于生產(chǎn)監(jiān)控至關(guān)重要。
使用qCL工具（Santis 300）對MicroLED陣列強度測量所得的完整晶圓圖譜
從材料研發(fā)到量產(chǎn)質(zhì)控，陰極發(fā)光掃描電鏡（CL-SEM）為顯示技術(shù)的迭代升級提供了微觀尺度的工具。隨著Mini/MicroLED、量子點、鈣鈦礦等技術(shù)的突破，Attolight將持續(xù)推動顯示行業(yè)向更高分辨率、更長壽命、更低能耗的目標邁進，助力“屏聯(lián)萬物”時代的到來。
